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EUV 優點
2020年4月22日—在台積電法說會上,EUV是近年不斷提到的微影製程名稱,也是現今能在晶片上畫出最精密線路的光罩技術,究竟微影技術是什麼?在神秘的半導體無塵室如何進行 ...,除了更少的光子暴露在光刻膠上之外,EUV光刻膠也吸收更少的光子。...EUV光刻膠爭奪,未來...
半導體微影製程設備新興技術發展與產業觀察
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2023年1月25日—...EUV的獨霸地位。然而除了晶圓前段製造的需求之外,在先進封裝領域,由於...好處是不需要光罩或模具,可以進行少量多樣的圖樣印製。代表廠商為EV ...
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